外延片检测项目及标准方法汇总

外延片检测范围

LED外延片，硅外延片，芯片外延片，氮化镓外延片，半导体外延片，砷化镓外延片，晶圆外延片，激光外延片等。

外延片检测项目

表面质量检测，反射率检测，光谱分析，峰值波长检测，波长均匀性检测，表面形貌分析，厚度检测，翘曲度检测，表面粗糙度检测等。

外延片检测报告有哪些用途?

1、销售使用。

2、改善产品质量。

3、科研论文数据使用。

4、质量控制使用。

5、产品进出口使用。

6、竞标，投标使用

外延片检测标准

GB/T 14139-2019 硅外延片

GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

GB/T 35308-2017 太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片

GB/T 35310-2017 200 mm硅外延片

GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量检测方法

GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数检测方法

GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率检测方法

GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片

GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底

GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底

GB/T 14139-2009 硅外延片

GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片

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